激光干涉仪

01 激光干涉仪

LM-20激光干涉仪以氦氖激光器产生的激光波长为基础，应用高稳定度的激光

频率技术，获得作为测量基准的高精度激光波长；同时使用高精度温度、大气压

力、湿度传感器进行测量环境的补偿；并通过与外部光学镜组配合，实现高精度

、可重复、可溯源的相关几何参数精度测量，是数控机床和坐标测量机等精密设

备校准的理想工具。LM-20激光干涉仪延续GDLM-10激光干涉仪的高精度测量

性能，同时优化了机械结构和使用性能。

02 测量的基本原理

01.LM-20激光干涉仪的激光头发射出光波，经过分光镜后光波被分成两束；

02.固定角锥反射镜和移动角锥反射镜分别将光波反射回分光镜；

03.两列相干光波相遇叠加，在叠加区域某些点的光振动始终加强，某些点的光振动始终减弱，即在干涉区域内振动强度有稳定的空间分布；

04.最终在光靶上形成了明暗相间的干涉条纹，当两束满足干涉条件的光路径发生相对变化时（即移动角锥反射镜时），其干涉条纹也将发生变化，利用特殊的计数装置对干涉条纹进行计数，就可以知道移动角锥反射镜的位置变化量，从而实现对线性位移进行测量的目的。

03 产品优势

高激光频率稳定度

激光稳频标称精度±0.05ppm，实际计量结果 0.02ppm，为激光干涉仪测量提供高精度基准。中国计量科学研究院是中国最权威的计量检测机构，激光干涉的检定数据均来自于中国计量科学研究院。

精密的环境参数测量能力

环境温度测量标称精度±0.1℃，实际计量结果-0.02℃-+0.06℃；材料温度测量标称精度±0.1℃，实际计量结果+0.01℃-+0.06℃；大气压力测量标称精度±100Pa，实际计量结果+40-+66.7Pa；环境湿度测量精度±5%。为激光干涉仪的环境补偿算法提供精准的环境参数变化。

高测量精度

线性定位测量标称精度±0.5um/m（±0.5ppm），实际计量结果+0.08-+0.47um/m，高测量精度使激光干涉仪可以作为高精度的校准设备。

04 产品特点1

高测量速度；最高4m/s的测量速度，满足几乎所有的测量应用。

快速启动：约6分钟的启动预热时间，便于测量现场的快速使用。

长测量距离：长达20m的测量能力，满足大多数的测量要求。

05 产品特点：

高测量分辨率：可选的测量分辨率，最高1nm。

触发式测量：适合在待测机器移动时记录测量 值，测量效率高。

多种国际分析标准供选择：方便用户选择自己 需要的分析标准，进行多种分析。

06 核心组件（激光头）

激光的稳频，发射接收及相关后续处理；环境传感器数据的接收，上

位机软件的交互。

07 核心组件（环境传感器）

用于测量环境温度，材料温度，环境湿度及大气压力；测量得到的环境数据用于干涉仪的精密补偿。

08 核心组件（测量镜组）

1、线性镜组：用于进行线性测量的光学套件；

2、角度镜组：用于进行角度及旋转测量的光学套件。

09 相关组件